当废气经过等离子发生器时，在高压脉冲电场中，通过前后沿陡峭、脉宽极窄（ns）的高压脉冲电晕放电，在常温下获得非平衡高能低温等离子体，即产生大量高能电子（约5eV）和具有极强氧化性能的羟基自由基（·OH、·HO2、·O ）、以及子氧化性极强O3 等高能活性粒子，与废气中有机物分子进行非弹性碰撞，使有机物分子化学键断裂，发生一系列复杂氧化、降解化学反应，最终使废气中有毒有害有机物转变为无害的二氧化碳和水等，使废气得到净化。该项技术已获得国家实用新型专利（专利号：201020181614.1）。